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BSRF光斑参数
1W1A光斑参数
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能量范围 |
8.05 keV(不可调) |
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能量分辨率（△E/E） |
<4.4×10-4@ 8.05 keV |
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光通量（phs/s） |
>1×1011@ 8.05 keV |
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样品处光斑尺寸 |
1（H）×0.4(V)mm2 |
1W1B光斑参数
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能量范围 |
4-23 keV |
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能量分辨率（△E/E） |
<1-3×10-4 @ 9 keV |
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光通量（phs/s） |
>4×1011@ 9 keV，2.5 GeV,200 mA |
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样品处光斑尺寸 |
0.9（H）×0.3(V)mm2 |
1W2A光斑参数
小角散射分辨率 200 nm 角分辨率 0.5mrad 入射X射线波长 1.54 ？ 能量分辨率（△E/E）
～1×10-3
光通量（phs/s）
≥1×1011
样品至探测器距离
0.5～5.0 m 分级可调
探测器上光斑尺寸 1.4 × 0.2 mm2 光束发散度 ≤0.6 mrad
1W2B光斑参数|
能量范围 |
5-18 keV |
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能量分辨率（△E/E） |
优于 4×10-4 |
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光通量（phs/s） |
1012 |
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样品处光斑尺寸 |
1（H）×0.6(V)mm2 |
4W1B光斑参数
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实验模式 |
粉光聚焦模式 |
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能量范围 |
5-18 keV |
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能量分辨率（△E/E） |
<5.5×10-4 |
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样品处光子通量（phs/s） |
>1×1010@ 15 keV |
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样品处光斑尺寸 |
50（H）×50(V)μm2 |
| XRF检测限 | 1 ppm |
4W1A光斑参数
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成像模式 |
能量范围 |
光通量(phs/s ) |
空间分辨率 |
光斑尺寸 （H×V） |
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微米全场成像 |
6-26 keV |
～1012@ 8 keV |
～10μm |
20mm×10mm |
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～5μm |
10mm×5mm | |||
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～1μm |
2mm×1mm | |||
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纳米全场成像 |
6-10 keV |
～108@ 8 keV |
30 nm |
10μm×10μm |
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50 nm |
15μm×15μm | |||
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100 nm |
65μm×65μm |
4B7A光斑参数
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能量范围 |
Si (111) : 2100-5700 eV |
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InSb (111):1750-3400 eV | |
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能量分辨率（△E/E） |
～7000 |
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光通量（phs/s ) |
～1x1011@ S K-edge |
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样品处光斑尺寸 |
5×3 mm2 |
4B7B光斑参数
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能量范围 |
50～1700 eV |
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能量分辨率（△E/E） |
～1000 |
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光通量（phs/s） |
>1×1010@ Fe L-edge |
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样品处光斑尺寸 |
1×0.5 mm2（焦点处）、大至10×5 mm2（离焦） |
4B9B光斑参数
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能量范围 |
15～1000 eV |
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能量分辨率（△E/E） |
～1500 |
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光通量（phs/s） |
>1×1010 |
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样品处光斑尺寸 |
<2×0.8 mm2 |
4B9A光斑参数
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能量范围 |
5-13 keV |
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能量分辨率（△E/E） |
3×10-4 |
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光通量（phs/s） |
1×1010@ 8 keV |
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样品处光斑尺寸 |
2（H）×1(V)mm2 |
| 角分辨率 | 0.9角秒 |
4B8光斑参数
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波长范围 |
130-360 nm |
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光通量（phs/s） |
2×109@ 180 nm |
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样品处光斑尺寸 |
2（H）×1(V)mm2 |
4W2光斑参数
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能量范围 |
10～25 keV(单色光) |
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能量分辨率（△E/E） |
7×10-4@ 20 keV |
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光通量（phs/s） |
1.2×109@ 20 keV |
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样品处光斑尺寸 |
33×12 μm2 |
3W1光斑参数
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能量范围 |
40～80 keV 白光 |
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能量分辨率（△E/E） |
～0.16% @ 50 keV |
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光通量（phs/s） |
6.54×1010@ 50 keV 2.56×1013@ 白光 |
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样品处光斑尺寸 |
3×3 mm2@ 50 keV 9.37×2.47 mm2 @ 白光 |
1B3光斑参数
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样品处为白光，光斑水平宽度55毫米，样品台在竖直方向扫描曝光。其中纳米光刻光源能量在1-3 keV，X射线深度光刻光源能量在3-12 keV，光通量大于1015phs/s。 |