利用毛细管透镜作二次微聚焦获得30-100µm光斑，工作距离30mm，样品处光通量超过1×1010phs/s，最小元素检测限为ppm(mg/g)量级，可以开展例如单个流体地质包裹体、动物组织切片、植物等大组织结构样品的无损成分和化学价态分析。利用双晶单色器和超环面镜组合系统的单色光掠入射到样品的全反射方法，可以使最小元素检测限到ppm(mg/g)量级，绝对检测限为pg量级。此外，近期拟对用户开放过渡金属的共振非弹性X射线散射（RIXS）实验。 

1. 三个样品扫描台A、B和C

· 扫描台A平动范围为60mm×60mm×25mm；转动范围270°，最小精度分别为每步1mm和每步0.01°。

· 扫描台B平动范围为30mm×30mm×100mm；转动范围360°，最小精度分别为每步5mm和每步0.0005°。

· 扫描台C平动范围为45mm×45mm×45mm；最小精度为每步0.25µm.

2. Si(Li)固体探测器和谱仪分析系统

探测器能量分辨为133 eV (5.9 KeV处)，可以测量Na-U的各种元素。

3. Si二级管探测器

4. 体视显微镜A：放大倍数为50

5. 显微镜B： 空间分辨为1µm, 放大倍数为450

6. 电离室束流监测系统

7. 狭缝及激光对准光路系统

1．利用微区分析（µXRF和µXANES）方法可以进行各种材料的微区、微量元素的无损成分和价态分析，包括地质矿产，生物医学，环境科学，材料科学，人文考古和公共安全等领域。

2．利用硬X射线共振非弹性X射线散射(RIXS)实验方法，研究覆盖3d过渡金属元素和4f稀土元素等强关联体系和磁性材料体系，可以获得原子局域结构扭曲、电荷转移、轨道杂化和局域磁有序等精细信息，涉及诸如高温超导和Mott绝缘体、重费米子和非费米子液体，巨磁阻、稀磁半导体和单分子磁体等热点。此外，还涉及催化材料、矿物、生态、金属蛋白等相关的化学、地球科学，环境科学和生命科学等领域。

MEMS电泳芯片、金属光栅、热压模具、加速度计微结构、火花电极、金属微孔、微质谱仪金属结构、金属镂空模版、精密微金属结构系统等