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LIGA和光刻系统(物质区域中心)

2011-04-13 | 浏览次数: | 文章来源: | 【

设备名称 LIGA和光刻系统(物质区域中心)
设备型号 非标
启用日期 2009-11-19 19:43:40.903
仪器金额 1.0E7
接收时的状态及验收记录
所属研究组 LIGA和光刻站
仪器操作员 王波
仪器操作员电话 88235983
仪器操作员EMail HOUFJ@IHEP.AC.CN
仪器描述

工作环境有300平米的1000超净和10平米的100级超净间、21兆的超纯水设备、腐蚀间、工艺辅助间等,在设备上拥有真空镀膜、电镀装置、氧化炉、双面对准光光刻、深紫外光刻机、法国进口的反应离子刻蚀机、国产磁增强反应离子刻蚀机、氯化铯钠米岛生长设备、同步辐射X光刻束线和相应的光刻装置,在测试设备方面有扫描电镜、台阶仪、显微镜等。图4为光刻站1000级超净间照片。

仪器主要配件 扫描反射镜箱系统,用于X光纳米光刻;LIGA扫描曝光系统,用于LIGA技术的深度光刻。
仪器主要功能 提供纳米光刻扫描光斑,以及深度同步辐射光刻样品扫描。3B1束线经过了多次改造,目前分为LIGA深度光刻的3B1A束线和纳米光刻的3B1B束线,而LIGA束线为新增加束线。
分析项目说明 纳米扫描光斑范围40*40毫米,LIGA扫描曝光范围40*60毫米
备注
单时价格 0
共享状态 中心共享