LIGA和光刻系统（物质区域中心）
2011-04-13 | 浏览次数: | 文章来源: | 【大 中 小】
| 设备名称 | LIGA和光刻系统（物质区域中心） |
| 设备型号 | 非标 |
| 启用日期 | 2009-11-19 19:43:40.903 |
| 仪器金额 | 1.0E7 |
| 接收时的状态及验收记录 | |
| 所属研究组 | LIGA和光刻站 |
| 仪器操作员 | 王波 |
| 仪器操作员电话 | 88235983 |
| 仪器操作员EMail | HOUFJ@IHEP.AC.CN |
| 仪器描述 |
工作环境有300平米的1000超净和10平米的100级超净间、21兆的超纯水设备、腐蚀间、工艺辅助间等，在设备上拥有真空镀膜、电镀装置、氧化炉、双面对准光光刻、深紫外光刻机、法国进口的反应离子刻蚀机、国产磁增强反应离子刻蚀机、氯化铯钠米岛生长设备、同步辐射X光刻束线和相应的光刻装置，在测试设备方面有扫描电镜、台阶仪、显微镜等。图4为光刻站1000级超净间照片。 |
| 仪器主要配件 | 扫描反射镜箱系统，用于X光纳米光刻；LIGA扫描曝光系统，用于LIGA技术的深度光刻。 |
| 仪器主要功能 | 提供纳米光刻扫描光斑，以及深度同步辐射光刻样品扫描。3B1束线经过了多次改造，目前分为LIGA深度光刻的3B1A束线和纳米光刻的3B1B束线，而LIGA束线为新增加束线。 |
| 分析项目说明 | 纳米扫描光斑范围40*40毫米，LIGA扫描曝光范围40*60毫米 |
| 备注 | |
| 单时价格 | 0 |
| 共享状态 | 中心共享 |