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BSRF光斑参数

时间:2023年05月26日 点击数: 出处: 编辑:

    1W1A斑参数

 能量范围

 8.05 keV(不可调)

 能量分辨率(△E/E

 <4.4×10-4@ 8.05 keV

 光通量(phs/s

 >1×1011@ 8.05 keV

 样品处光斑尺寸

 1H×0.4(V)mm2

    1W1B斑参数

 能量范围

 4-23 keV

 能量分辨率(△E/E

 <1-3×10-4 @ 9 keV

 光通量(phs/s

 >4×1011@ 9 keV,2.5 GeV,200 mA

 样品处光斑尺寸

 0.9H×0.3(V)mm2

    1W2A斑参数

 小角散射分辨率  200 nm
 角分辨率  0.5mrad
 入射X射线波长  1.54 ?

 能量分辨率(△E/E

 1×10-3

 光通量(phs/s

 ≥1×1011

 样品至探测器距离

 0.55.0 m 分级可调

 探测器上光斑尺寸  1.4 × 0.2 mm2
 光束发散度  ≤0.6 mrad
    1W2B斑参数

 能量范围

 5-18 keV

 能量分辨率(△E/E

 优于 4×10-4

 光通量(phs/s

 1012

 样品处光斑尺寸

 1H×0.6(V)mm2

   4W1B斑参数

 实验模式

 粉光聚焦模式

 能量范围

 5-18 keV

 能量分辨率E/E

 <5.5×10-4

 样品处光子通量(phs/s

 >1×1010@ 15 keV

 样品处光斑尺寸

 50H×50(V)μm2

 XRF检测限  1 ppm 

     4W1A斑参数

成像模式

能量范围

光通量(phs/s )

空间分辨率

光斑尺寸

H×V

微米全场成像

6-26 keV

1012@ 8 keV

10μm

20mm×10mm

5μm

10mm×5mm

1μm

2mm×1mm

纳米全场成像

6-10 keV

108@ 8 keV

30 nm

10μm×10μm

50 nm

15μm×15μm

100 nm

65μm×65μm

   4B7A斑参数

 能量范围

Si (111) : 2100-5700 eV

InSb (111):1750-3400 eV

 能量分辨率E/E

7000

 光通量phs/s )

1x1011@ S K-edge

 样品处光斑尺寸

5×3 mm2

   4B7B斑参数

 能量范围

 501700 eV

 能量分辨率(△E/E)

 1000

 光通量(phs/s

 >1×1010@ Fe L-edge

 样品处光斑尺寸

 1×0.5 mm2焦点处)、大至10×mm2离焦

   4B9B斑参数

 能量范围

 151000 eV

 能量分辨率(△E/E)

 1500

 光通量(phs/s

 >1×1010

 样品处光斑尺寸

 <2×0.8 mm2

   4B9A斑参数

 能量范围

 5-13 keV

 能量分辨率(△E/E)

 3×10-4

 光通量(phs/s

 1×1010@ 8 keV

 样品处光斑尺寸

 2H×1(V)mm2

 角分辨率  0.9角秒

    4B8斑参数

 波长范围

 130-360 nm

 光通量(phs/s

 2×109@ 180 nm

 样品处光斑尺寸

 2H×1(V)mm2

   4W2斑参数

 能量范围

 1025 keV(单色光)

 能量分辨率(△E/E

 7×10-4@ 20 keV

 光通量(phs/s

 1.2×109@ 20 keV

 样品处光斑尺寸

 33×12 μm2

   3W1斑参数

 能量范围

 40~80 keV 

 白光

 能量分辨率(△E/E

 ~0.16% @ 50 keV

 光通量(phs/s

 6.54×1010@ 50 keV

 2.56×1013@ 白光

 样品处光斑尺寸

 3×3 mm2@ 50 keV

 9.37×2.47 mm@ 白光

    1B3斑参数

样品处为白光,光斑水平宽度55毫米,样品台在竖直方向扫描曝光。其中纳米光刻光源能量在1-3 keVX射线深度光刻光源能量在3-12 keV,光通量大于1015phs/s。

 
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