一种用于细管道内壁的磁控溅射镀膜装置
- 英文名称：A magnetron sputtering coating device for the inner wall of thin pipes
- 专利号：ZL 202210354033.0
- 专利类别：发明授权
- 专利证书号：
- 申请号：CN202210354033.0
- 发明人：刘佳明; 王鹏程; 刘顺明; 谭彪; 孙晓阳; 关玉慧
- 其它发明人：
- 申请日期：2022-04-06
- 授权日期：2024-12-24
