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一种晶圆清洗夹具

  • 英文名称:A wafer cleaning clamp
  • 专利号:ZL 202420269448.2
  • 专利类别:实用新型
  • 专利证书号:
  • 申请号:CN202420269448.2
  • 发明人:蔡健荣; 张爱梅; 高鹤
  • 其它发明人:
  • 申请日期:2024-02-04
  • 授权日期:2024-12-10
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