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六自由度纳米级振动装置
  • 英文名称：Six-degree-of-freedom nanoscale vibration device
  • 专利号：ZL 202420158058.8
  • 专利类别：实用新型
  • 专利证书号：
  • 申请号：CN202420158058.8
  • 发明人：王广源; 刘磊; 于永积; 陈佳鑫; 康玲; 刘仁洪; 张俊嵩; 余洁冰; 宁常军; 聂小军; 贺华艳
  • 其它发明人：
  • 申请日期：2024-01-23
  • 授权日期：2024-11-22
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