一种低增益三维插入式SiC探测器芯片及其制备方法
- 英文名称：A low-gain three-dimensional plug-in SiC detector chip and its preparation method
- 专利号：ZL 202111248022.6
- 专利类别：发明授权
- 专利证书号：
- 申请号：CN202111248022.6
- 发明人：史欣; 谭雨航; 王聪聪; 杨涛; 张希媛; 刘凯
- 其它发明人：
- 申请日期：2021-10-26
- 授权日期：2024-10-11
