改变薄膜生长模式和表面形貌的倏逝波调制器及调制方法
- 英文名称：The present invention relates to evanescent wave modulator capable of changing film growth mode and surface topography and its modulation method
- 专利号：ZL 202310514620.6
- 专利类别：发明授权
- 专利证书号：
- 申请号：CN202310514620.6
- 发明人：王焕华; 沈治邦; 陈雨; 郭望果
- 其它发明人：
- 申请日期：2023-05-09
- 授权日期：2024-10-11
