一种光栅周期失配设计的光栅干涉波前检测方法及装置
- 英文名称：A grating interference wavefront detection method and device based on grating period mismatch design
- 专利号：ZL 202310514944.X
- 专利类别：发明授权
- 专利证书号：
- 申请号：CN202310514944.X
- 发明人：刘方; 李明
- 其它发明人：
- 申请日期：2023-05-09
- 授权日期：2024-09-03
