一种多层膜单色器或反射镜的冷却结构
- 英文名称：A cooling structure for multilayer film monochromator or reflector
- 专利号：ZL 202323054433.9
- 专利类别：实用新型
- 专利证书号：
- 申请号：CN202323054433.9
- 发明人：梁好; 张云升; 高立丹; 卢远舒; 张兵兵; 洪振; 刁千顺; 李明; 盛伟繁
- 其它发明人：
- 申请日期：2023-11-13
- 授权日期：2024-06-07
