一种基于近场散斑的曲面波前与面形高精度检测方法
- 英文名称：The present invention relates to a high-accuracy detection method of curved surface wavefront and surface form based on near-field speckle
- 专利号：ZL 202111510919.1
- 专利类别：发明授权
- 专利证书号：
- 申请号：CN202111510919.1
- 发明人：李凡; 康乐; 杨福桂; 李明
- 其它发明人：
- 申请日期：2021-12-10
- 授权日期：2024-01-26
