一种双面碳化硅PIN结构微条辐射探测器及其制备方法
- 英文名称:The invention relates to a double-sided silicon carbide PIN structure micro-strip radiation detector and a preparation method thereof
- 专利号:ZL 202210198261.3
- 专利类别:发明授权
- 专利证书号:
- 申请号:CN202210198261.3
- 发明人:崔兴柱; 夏晓川; 梁晓华; 梁红伟; 汪锦州
- 其它发明人:
- 申请日期:2022-03-02
- 授权日期:2023-09-26