一种压电驱动六自由度柔顺定位系统
- 英文名称:The invention discloses a piezoelectric-driven six-degree-of-freedom compliant positioning system
- 专利号:ZL 202122907663.X
- 专利类别:实用新型
- 专利证书号:
- 申请号:CN202122907663.X
- 发明人:庄建; 崔旭; 杨雪锋; 张孟晨; 许虹; 李帅; 邓红桃
- 其它发明人:
- 申请日期:2021-11-20
- 授权日期:2022-08-12