一种低阻抗束流位置探测器及其制作方法
- 英文名称：The invention relates to a low-impedance beam position detector and a manufacturing method thereof
- 专利号：ZL 202010857892.2
- 专利类别：发明授权
- 专利证书号：
- 申请号：CN202010857892.2
- 发明人：王安鑫; 田塞克; 聂小军; 随艳峰; 何俊; 刘磊; 朱东辉; 陈佳鑫; 贺华艳; 余洁冰; 王广源; 于永积; 宁常军; 张俊嵩; 刘仁洪; 康玲
- 其它发明人：
- 申请日期：2020-08-24
- 授权日期：2022-07-12
