一种高功率波长可调的极紫外光源的产生装置及方法
- 英文名称：The invention relates to a device and a method for generating an extreme ultraviolet light source with adjustable high-power wavelength
- 专利号：ZL 202010712239.7
- 专利类别：发明授权
- 专利证书号：
- 申请号：CN202010712239.7
- 发明人：黄永盛
- 其它发明人：
- 申请日期：2020-07-22
- 授权日期：2022-05-17
