Pd/Ti双层吸气剂薄膜的制备方法和Pd/Ti双层吸气剂薄膜
- 英文名称：The invention relates to a preparation method of a Pd/Ti double-layer getter film and the Pd/Ti double-layer getter film
- 专利号：ZL 202010968218.1
- 专利类别：发明授权
- 专利证书号：
- 申请号：CN202010968218.1
- 发明人：张志伟; 何平; 马永胜
- 其它发明人：
- 申请日期：2020-09-15
- 授权日期：2022-01-04
