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一种4H-SiC像素肖特基辐射探测器及其制备方法

  • 英文名称:4H - SiC pixel Schottky radiation detector and preparation method thereof
  • 专利号:ZL 201910499916.9
  • 专利类别:发明授权
  • 专利证书号:
  • 申请号:CN201910499916.9
  • 发明人:梁晓华; 夏晓川; 韩冲; 梁红伟; 崔兴柱
  • 其它发明人:
  • 申请日期:2019-06-11
  • 授权日期:2021-09-21
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