一种4H-SiC像素肖特基辐射探测器及其制备方法
- 英文名称:4H - SiC pixel Schottky radiation detector and preparation method thereof
- 专利号:ZL 201910499916.9
- 专利类别:发明授权
- 专利证书号:
- 申请号:CN201910499916.9
- 发明人:梁晓华; 夏晓川; 韩冲; 梁红伟; 崔兴柱
- 其它发明人:
- 申请日期:2019-06-11
- 授权日期:2021-09-21