一种纯铌腔内表面镀铌三锡薄膜的方法及真空炉
- 英文名称：Method for plating niobium-tin-tin film on surface of pure niobium cavity and vacuum furnace
- 专利号：ZL 201911314280.2
- 专利类别：发明授权
- 专利证书号：
- 申请号：CN201911314280.2
- 发明人：刘佰奇; 董超; 沙鹏; 翟纪元
- 其它发明人：
- 申请日期：2019-12-19
- 授权日期：2021-04-06
