基于直流磁控溅射方法的狭缝镀膜装置
- 英文名称：Slit coating device based on direct current magnetron sputtering method
- 专利号：ZL 202021140555.3
- 专利类别：实用新型
- 专利证书号：
- 申请号：CN202021140555.3
- 发明人：马永胜; 孙飞; 黄涛; 刘佰奇; 郭迪舟; 何平; 董海义
- 其它发明人：
- 申请日期：2020-06-18
- 授权日期：2021-03-23
