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快速扫描检测大面积光电器件的装置和方法

  • 英文名称:Device and method for rapidly scanning and detecting large-area photoelectric device
  • 专利号:ZL 201810135927.4
  • 专利类别:发明授权
  • 专利证书号:
  • 申请号:CN201810135927.4
  • 发明人:钱森; 高峰
  • 其它发明人:
  • 申请日期:2018-02-09
  • 授权日期:2021-01-29
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