一种LIGA技术的埋丝光刻胶片及其制备方法
- 英文名称：Embedded wire photoetching film of LIGIGA technology and preparation method thereof
- 专利号：ZL 202010150760.6
- 专利类别：发明授权
- 专利证书号：
- 申请号：CN202010150760.6
- 发明人：伊福廷; 刘静; 张天冲; 王波
- 其它发明人：
- 申请日期：2020-03-06
- 授权日期：2021-01-01
