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二次电子特性参数的测量装置和方法

  • 英文名称:Secondary electronic characteristic parameter measuring apparatus and method
  • 专利号:ZL 201510409157.4
  • 专利类别:发明授权
  • 专利证书号:
  • 申请号:CN201510409157.4
  • 发明人:王鹏程; 刘瑜冬
  • 其它发明人:
  • 申请日期:2015-07-13
  • 授权日期:2017-11-21
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