一种双衍射光栅外差干涉的滚转角测量装置及方法
- 英文名称:A double diffraction grating heterodyne interference of the rolling angle measuring device and method
- 专利号:ZL 201510015152.3
- 专利类别:发明授权
- 专利证书号:
- 申请号:CN201510015152.3
- 发明人:汤善治; 李明; 盛伟繁
- 其它发明人:
- 申请日期:2015-01-12
- 授权日期:2017-09-08