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一种大面积厚GEM的制作工艺
  • 英文名称：A large-area production process of thick GEM
  • 专利号：ZL 201410704645.3
  • 专利类别：发明授权
  • 专利证书号：
  • 申请号：CN201410704645.3
  • 发明人：谢宇广; 吴军权; 吕军光; 陈春; 武守坤; 林映生; 唐宏华
  • 其它发明人：
  • 申请日期：2014-11-29
  • 授权日期：2017-01-11
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