一种硅纳米柱阵列光电池的选择性栅极及其制作方法
- 英文名称：A silicon nano-column array of photocell selective grid and its manufacturing method
- 专利号：ZL 201310306868.X
- 专利类别：发明授权
- 专利证书号：
- 申请号：CN201310306868.X
- 发明人：刘静; 伊福廷
- 其它发明人：
- 申请日期：2013-07-22
- 授权日期：2016-03-30
