一种用于LIGA技术的光刻胶膜与基片的复合结构的制备方法
- 英文名称：A LIGA technology used for the substrate of the photoresist film preparation method of composite structure
- 专利号：ZL 201310380360.4
- 专利类别：发明授权
- 专利证书号：
- 申请号：CN201310380360.4
- 发明人：伊福廷
- 其它发明人：
- 申请日期：2013-08-28
- 授权日期：2015-11-11
