一种高分辨率慢正电子束形貌的测量方法及装置
- 英文名称：The present invention relates to a high-resolution slow positive electron beam topography measuring method and its equipment
- 专利号：ZL 202110732713.7
- 专利类别：发明授权
- 专利证书号：
- 申请号：CN202110732713.7
- 发明人：况鹏; 胡誉; 刘福雁; 曹兴忠; 于润升; 王宝义; 张鹏; 魏龙
- 其它发明人：
- 申请日期：2021-06-29
- 授权日期：2024-04-02
