一种超导腔等离子体清洗的电路结构
- 英文名称：A superconductive cavity plasma cleaning circuit structure
- 专利号：ZL 202320077498.6
- 专利类别：实用新型
- 专利证书号：
- 申请号：CN202320077498.6
- 发明人：张聪; 王云; 刘华昌; 吴小磊; 陈强; 李阿红; 瞿培华; 李波; 樊梦旭; 周文中; 杨钥; 孔启宇
- 其它发明人：
- 申请日期：2023-01-10
- 授权日期：2023-10-27
