超导腔等离子体清洗气路装置
- 英文名称：Superconducting cavity plasma cleaning gas path device
- 专利号：ZL 202222986081.X
- 专利类别：实用新型
- 专利证书号：
- 申请号：CN202222986081.X
- 发明人：张聪; 王云; 刘华昌; 吴小磊; 陈强; 李阿红; 瞿培华; 李波; 樊梦旭; 周文中; 杨钥
- 其它发明人：
- 申请日期：2022-11-08
- 授权日期：2023-09-19
