The fabrication of microlens array in PMMA material with the assistant of nickel pillars by LIGA technology and thermal reflow method
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- 刊物名称：MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS
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- 作者：Liang, XX; Yan, MM; Xu, YZ et al.
- 发表年度：2023
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