显微CL( Micro-CL）检测案例
案例1. 板状化石
样品实物为古鱼类化石。用显微CL进行成像,选取一定深度的断层图像展示,如以下图组所示。
显微CL图像分辨率达到33.6μm,作为对比,旁边给出了直接透射的图像。
采用显微CL得到的图像可以清晰再现化石内部微米级的组织学特征(神经、血管及听小骨等)对于研究脊椎动物与人类起源、演化及其在生命演化之树中的位置都具有非常重要的意义。
案例2. 通讯电路板
测试结果与提供电路板公司的实际解剖后的测量结果相比。第1、2、3个位置的检测误差分别为9.4688微米、5.0143微米、-3.4169微米。达到了该公司检测误差小于10微米的要求。该公司使用国外的显微CL产品检测的误差大于30微米。
案例3. 半导体公司GBT模块
样品实物如下图所示。使用显微CL进行成像,选取两个不同深度的断层图像展示如下图所示。在得到断层图像以后,继续开发了气孔识别及气孔率统计软件,并对气孔率进行了计算。目前此系统为该半导体公司的质量检测和工艺升级提供了重要的帮助。
附件下载：
