南方光源研究测试平台精密实验环境集成装置通过竣工验收
8月16日，南方光源研究测试平台精密实验环境集成装置通过竣工验收。
南方光源研究测试平台精密实验环境集成装置共9套，总面积1455m^2，分别布置于南方光源研究测试平台D1、D2和D3测试厅。其洁净度为ISO 4～ISO7，温控精度最高至±0.1℃。
通过工艺组与供应商进行联合设计和现场优化，该项目实现了实验棚屋内外结构全部软接触，解决了实验棚屋外部振动传导至室内的问题，使有限空间内的隔振基础面积最大化。此外，本项目还完成了大尺寸的双层电动可开启送风吊顶，为大型精密设备的整体测试提供了基础的条件。装置安装期间，在项目部的全力推动下，相关专业人员积极配合，克服了疫情和交叉施工的多重影响，高质量完成了装置集成、调试和优化，为类似项目的实施提供了重要的参考。
精密实验环境集成装置为超导腔清洗组装、真空镀膜、插入件测试、光学设备研发测试等提供了必需的洁净和恒温环境。装置通过验收，为南方光源的关键设备技术研发提供了强有力的支持和保障。
低温插入件±0.1℃恒温环境连续24小时温度监测数据
微纳加工与表征实验厅恒温洁净集成装置
附件下载：
